{"name":"한국나노기술원_내부과제 장비활용 내역","description":"한국나노기술원에서 진행한 내부과제 장비활용 내역입니다.(접수번호, 공정순번, 장비명, 공정명 등) * 장비 상세 정보 : 한국나노기술원_나노소자팹서비스 및 연구공정장비 정보(https://www.data.go.kr/data/15037530/fileData.do)에서 확인 가능합니다. ","url":"https://www.data.go.kr/data/15086986/fileData.do","keywords":["화학공학,나노화학공정기술,나노공정 장비"],"license":"https://data.go.kr/ugs/selectPortalPolicyView.do","dateCreated":"2024-08-26","dateModified":"2024-08-26","datePublished":"2024-08-26","creator":{"name":"한국나노기술원","contactPoint":{"contactType":"경영지원실","telephone":"+82-0315466439","@type":"ContactPoint"},"@type":"Organization"},"@context":"https://schema.org","@type":"Dataset"}